UltraINSP晶圓表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)是表面缺陷檢測(cè)的蕞完善的國(guó)產(chǎn)化替代產(chǎn)品，系統(tǒng)包括四個(gè)模塊可以檢測(cè)所有晶圓表面并同步采集數(shù)據(jù)：晶圓正面、背面、邊緣缺陷檢測(cè)模塊；輪廓、量測(cè)和檢查模塊；其提供了自適應(yīng)數(shù)據(jù)采集控制，創(chuàng)新地利用測(cè)量評(píng)估結(jié)果匹配多傳感融合測(cè)量技術(shù)以保證檢測(cè)準(zhǔn)確與穩(wěn)定，系統(tǒng)可蕞大程度的替代進(jìn)口缺陷檢測(cè)設(shè)備，具有很高的經(jīng)濟(jì)效益。

目前可定制的缺陷類(lèi)型：

1. 邊緣缺陷檢測(cè)：崩邊、缺角

2. 切割槽深度與寬度檢測(cè)

3. 切割缺角、豁口檢測(cè)

4. 切割槽多余材料堆積

5. 引線(xiàn)鍵合質(zhì)量檢測(cè)

6. 焊點(diǎn)質(zhì)量檢測(cè)